高純氬氣技術(shù)指標(biāo) GB/T 10624-1995
純度(V/V%)
雜質(zhì)含量
N2
O2
H2
總碳
H2O
≥99.999
PPM(V/V)≤
5
2
1
4
氬 Ar
氬是一種無毒惰性氣體,主要用作半導(dǎo)體工業(yè),稀有金屬,有色金屬的冶煉,焊接中的保護(hù)氣,特別燈泡的充填氣,氣相色普分析用載氣及配制標(biāo)準(zhǔn)氣的底氣等。
工業(yè)用氧
純氬
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